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故 障 信 号 怎 么 办 ？ 答 ： 分 子 泵 过 流 保 护 分 为 加 速 中 过 流 保 护 与 恒 速 运 行 中 过 流 保 护 两 种 情 况 ， 应 分 别 诊 断 ： （ 1 ） 加 速 中 过 流 保 护 可 能 情 况 ： 系 统 漏 气 、 真 空 度 较 差 检 测 方 法 及 建 议 : 1 ） 观 察 分 子 泵 前 级 真 空 度 是 否 优 于 1 0 P a ； 2 ） 用 检 漏 仪 对 系 统 进 行 整 机 检 漏 ， 确 保 系 统 无 漏 ； 3 ） 确 保 系 统 漏 率 在 允 许 范 围 内 且 前 级 优 于 1 0 P a 后 重 启 分 子 泵 。 （ 2 ） 恒 速 运 行 中 过 流 保 护 可 能 情 况 ： 分 子 泵 运 行 中 负 载 突 变 检 测 方 式 及 建 议 ： 1 ） 观 察 系 统 真 空 度 变 化 过 程 ； 2 ） 若 出 现 较 明 显 变 化 （ 如 1 0 4 P a 降 至 1 0 1 P a ） ， 则 会 出 现 过 流 保 护 情 况 . 查 看 详 情 友 情 链 接 ： 中 国 粉 体 网 网 上 粉 体 展 粉 体 人 才 粉 体 论 坛 关 键 词 分 子 泵 检 漏 仪 扫 描 电 镜 真 空 检 漏 设 备 环 境 模 拟 系 统 关 于 我 们 公 司 简 介 荣 誉 资 质 企 业 文 化 团 队 风 采 团 队 风 采 产 品 中 心 氦 质 谱 检 漏 仪 智 控 氦 质 谱 检 漏 仪 推 车 （ 移 动 ） 式 检 漏 仪 氦 检 系 统 真 空 零 部 件 联 系 我 们 销 售 热 线 ： 0 7 5 5 2 1 0 3 0 1 9 1 公 司 传 真 ： 0 7 5 5 2 8 0 3 3 8 5 0 客 服 电 话 ： 4 0 0 1 1 3 5 1 1 3 Q 　 Q : 2 6 5 3 2 4 0 5 2 6 邮 箱 : s z h e s z k @ s z h e s z k . c o m 扫 一 扫 公 众 号 扫 一 扫 手 机 网 站 地 址 ： 运 营 中 心 ： 广 东 省 深 圳 市 龙 华 区 华 霆 路 5 号 雅 迪 宝 工 业 园 B 栋 1 2 层 氦 检 基 地 ： 湖 北 省 荆 门 市 钟 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